2020年9月19日,浙江海纳半导体有限公司(以下简称“海纳半导体”)第一根5英寸重掺砷单晶出炉。
紧接着9月23日,第一根6英寸重掺砷单晶相继出炉。重掺砷单晶的拉制成功标志着海纳半导体“年产100吨4-8英寸IC级单晶硅及其制品技改项目”正式拉开量产的帷幕,这是海纳半导体在重掺抛光片细分领域迈进的重要一步,更是实现众合科技新经营发展战略——“智慧交通+泛半导体”中的重要一环。
随着重掺砷单晶的试拉成功,海纳半导体的产品结构将延伸到外延衬底用抛光硅片的所有重掺系列,为完成海纳半导体的五年规划打响了第一枪。
海纳半导体的重掺项目自2019年7月开始着手制定实施方案,在地方政府的大力支持下,经过环保部门严格评审,2020年1月21日正式获得环评审批。
2020年伊始,突如其来的新冠病毒疫情打乱了所有的计划,但全体员工不畏艰难、巧妙安排,冒风雨、顶酷热,终于仅比原计划推迟一个月,全面完成了按环评要求的环保设施建设和按IC级环境要求的场地升级改造,安装、调试单晶炉及其配套的真空、气体设备也马不停蹄地进行,最终于8月底达成了生产条件。

重掺外延衬底用抛光硅片是抛光片最大的细分市场。海纳半导体目前已掌握了制备各种重掺硅单晶的相关技术,根据硼、磷、锑、砷等不同元素的化学特性开发相关技术,精确控制掺杂剂比例,电阻率命中准确,部分技术指标行业领先。海纳半导体在重掺系列产品的全覆盖,为海纳半导体进一步提升抛光片产品的产能和市场,并成为国内质量一流的抛光片企业夯实了基础。
积跬步以致千里,全体海纳人将再接再厉、勇闯新高,为完成目标——将海纳半导体打造成“一家以6英寸抛光正片为主,兼8英寸抛光片(重掺衬底硅片)质量国内一流、高端研磨片国内龙头地位的优秀企业”而不懈努力!
重掺单晶可以解决这一问题。重掺单晶因其能克服器件结构中固有的闭锁效应和α粒子软失效等寄生效应,从而广泛用作硅外延片的衬底材料。其中,因为砷元素具备溶解度大、扩散系数小、错配度小等特性,重掺砷硅单晶片是最为理想的外延衬底材料,广泛应用于集成电路和高端功率器件中。随着集成电路和功率器件应用领域和范围的不断扩大,对重掺砷硅单晶片的市场需求量也不断增加。
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